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型式 NL3B50-200K-01 入力電源 AC200V 3φ 50/60Hz 9KVA RF 出力電力 3000W 周波数 50kHz~200kHz 周波数コントロールユニット（NXA-02)より周波数可変 出力安定度 ±2% 出力精度 設定値に対し±5% もしくは±50W のどちらか大きい方 高調波レベル 第2 高調波 -15dB 以下 (定格出力時) 第3 高調波以上 -20dB 以下 RF 出力コネクタ HN型 ｽﾛｰｱｯﾌﾟ/ﾀﾞｳﾝ時間 0.3秒±0.1 秒 RF 電源寸法 添付図面(NZG120146)参照 冷却方式 水冷、空冷併用方式

Power cord,Output cable*2,BNC cable