(株)ﾊｲﾃﾞﾝ研究所 SBP-5K-HF-1
5KV 40mA High Voltage Pulse Power Supply
SOLD OUT
SOLD
pow352
Output:Pulse 0-+-5kV /40mA Variable
Pulse Width : 1.5uS-10uS
Trr,Tff <100ns
Period : 10-80KHz
Input Power:AC200V +-10% Single Phase
Power consumption:500W
Manufacturer date:2005/Feb
半導体方式バイポーラパルス高周波高圧電源です。
特 長
■出力周波数を広範囲に連続して変化させることができる。（10〜80kHz）
■マッチングボックス不要なので取り扱いが容易で経済性に優れている。
用 途
スパッタリング 、プラズマCVD 、オゾン発生器 、イオン注入、
エッチング 、プラズマディスプレイ
約80kg
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