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FormFactor
SUMMIT 11000B 200mmウェハ マニュアルプローブシステム
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- 仕様
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X-Y Travel
Travel:203 mm x 203 mm (8 in. x 8 in.)
Motion control:Manual controls (X-Y direct rotary knobs)
Resolution:5 mm / turn
Platen
Material Steel for magnetic positioners
Dimensions 74.5 cm (W) x 59.5 cm (D) x 20 mm (T) (29.3 in. x 23.4 in. x 0.78 in.)
- 付属品
- 除振台(TMC社製),温度コントローラ(ATT社製),電源コード他